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FRT MicroGlider® with extended z-range | |||||||||
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The MicroGlider® 은 Optical sensor CHR 150이 적용되는데, 이센서의 Z축 측정범위는 300 µm이며, 특수한 layer by layer측정방식에 의하여 Z축 측정범위는 3 mm까지 특별한 옵션계측기없이 확장이 가능하다. 3mm범위를 벗어나는 높이의 샘플의 경우 하드웨어나 소프트웨어를 업그레이드 해야 한다.
그림오른쪽: MicroGlider® with large z-measuring range. |
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The sensor will be continuously moved at a more or less constant distance above the sample.
A second measuring system determines the position of the sensor itself. (Fig. 1). |
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측정값은 센서의 위치와 센서자체의 측정값이 복합하여 나오것으로 이것은 같은 정밀도와 분해능과 함께 위치 결정에 필요하며 동특성을 유지하는 것이다. 그러므로, linear encoder는 센서의 현위치를 탐지하는데 사용된다.
그림오른쪽t: : z-range of 3.7 mm의 a glass lens 검사 |
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MicroGlider는 높이 측정방식이 장치되어 있고 몇 종류의 샘플은 센서의 연속적인 측정수행을 허용하지 않기때문에 , 계속적으로layer by layer측정방식의 적용할 수 있다. 센서를 연속적으로 샘플표면위를 움직이게 하기위해, 샘플의 표면이 연속적이어야한다. 샘플이 edges or hole등을 포함하고 있으면서, 그 구조의 높이가 150 µm을 넘어서면(즉, Optical sensor의 측정범위가 ± 150 µm범위를 벗어나면), 제어기는 센서가 위아래움직임을 감지하지 못한다. layer by layer방식에 비교하여, 매우 긴 Z축 위치의 이러한 측정방식의 장점은 짧은 측정시간을 얻을 수 있다.
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