Standard version comes with an objective 50x:

Light source	Halogen lamp
Meas. Range with internal stepping motor	10 mm, 광범위한 측정
Meas. Range with piezo actuator	100/150 µm, 고속 초정밀측정
Resolution vertical	>=1 nm
Resolution lateral	>=1 µm
Stand off	3,4 mm
Measurement area	250 x 250 µm
Image size	780 x 560 Pixel

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Measurement stages

Displacement XY (Z)	50 (...200) mm
Step width, min.	1 µm

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          다양한 방식의 3차원 표면형상 측정기

                  WLI센서 대면적 측정용(14x10mm,stitch없이)

• Objectives
  The standard version comes with an objective turret for 3 objective

• Type/NA	Stand off	Meas. area	Resolution lateral
  10x/0,3	7 mm	1,25 x 1,1 mm	2 µm
  20x/0,4	5 mm	0,64 x 0,55 mm	1 µm
  50x/0,55	3,4 mm	0,25 x 0,25 mm	1 µm

• B/W Monitor with Microscope System-샘플표면의 측정위치 쉽게 찾음
• Workstation with damping elements
• High speed camera / Mega pixel camera
• Customised fixtures(Tilting and etc)
• 고객의 사용에 편리한 매우 다양한 치구가 선택사양으로 공급된다.
• Special Version의 XY축 13x10mm를 소프트웨어상에서 Stitch 가공을 하지 않고 한번에 Area측정가능한 모델도 있습니다. 대면적 고속측정에 뛰어 납니다.

 

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Software

• Windows XP operating system
• Custom measurement and evaluation software for standard and scientific applications