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NanoMap-500LS
Contact Profiler(접촉식 3차원측정기)
알파스텝 상위버전(=전자동,3차원측정기능포함) 카타로그
용도에 따른 모델별 차이는;
- 모델 NanoMap-LS: 접촉식, 알파스텝중 상위버전,
전자동,3차원측정기능추가, 하부 정밀연마된 Glass 샘플스테이지가
구동하며 측정한다.(수평측정범위 XY축 500x500um~50x50mm,
옵션150x150mm)
- 모델 NanoMap-500LS: 위모델에, Piezo scanner 가 상부시편에 장착된 모델로
작은 영역 XY 10x10~500x500um이내의 범위를 정밀하게 측정.
타사의 접촉식 측정기가 좁은영역의 측정시,측정이미지가 왜곡 되는데 비해, 이 모델은 SPM(=AFM)과 같이 정밀하게 측정할 수 있다.
-모델 NanoMap-D: 옵틱센서를 이용해 3차원 형상을 매우 빠르게 측정할 수 있으며,
비접촉식 + 접촉식 겸용으로 샘플에 따라 선택하여 측정이 가능하다.
실리콘밸리 소재 AEP사 웹사이트-->www.aeptechnology.com
Contact Profiler(알파스텝)
접촉식3차원 표면및 박막두께 측정기
미국 실리콘밸리에 소재한 AEP사의 알파스텝 측정기는 단순한 코팅막의 두께 측정 뿐 아니라,
전자동으로 Stage 제어를 하며 표면의 3차원 측정기능을 수행하고,
시스템내에 접촉식센서 뿐 아니라, 비접촉식(옵틱센서)을 선택적으로 추가하여 겸용으로 한 시스템에서 선택하여 사용 가능하다.
그밖에 측정 가능한 요소로;
l 정밀연마되거나 거칠게 가공된 표면에 대하여 표면거칠기, Waviness
및 3차원 측정을 선택적으로 측정가능.
l 박막및 후막의 두께 측정(Step height)
l 스크레치, 구멍,마모깊이와 부피등
l Dimensional analysis와 표면조직 특징 분석.
l 표면의 평평도와 굴곡 측정
l 2차원적으로 코팅공정전후의 박막의 Stress측정
l 마이크로 전자부품의 표면분석과 MEMS device 표면 가공정밀도 측정
l상용화되어 있는 SPIP 분석 소프트웨어를 선택하여 최고의 측정 분석
기술 적용 가능. (http://www.imagemet.com/)
아래에 상세 사양 검토 가능 합니다.
작업자에게 간편한측정소프트웨어
SPIP 분석소프트웨어
NanoMap 500LS 전체시스템
오른쪽-Contact Profiler, 왼쪽-옵틱 WLI센서 추가 가능 
Contact Profiler Tip:
0.1~100mg 범위에서 측정 Tip의 하중을 소프트웨어서 자동 Feedback제어 가능, 표면의 상흔을 내지않을 수 있다
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상세한 사양과 정보를 원하시면 아래 연락처 한미산업으로 전화 주시기 바랍니다.
다양한 사이즈와 분해능의 3차원 측정기는 여기로--->
전화 : 02 - 3411- 0173 팩스 : 02 - 3411 - 0178
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